By this author

THERMODYNAMIC MODELING OF CONDENSED PHASE COMPOSITION DURING DECOMPOSITION OF IRON(III) ACETYLACETONATE

Issue number 6 from 05.12.2024

Выполнено термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз, образующихся при разложении летучего прекурсора Fe(асас), ацетилацетоната железа (III), в зависимости от условий (температура, общее давление, количество добавляемого кислорода). Проведен отбор и обработка исходных термодинамических данных для газообразного и кристаллического Fe(асас) (энтальпия и энтропия образования, температурные зависимости теплоемкости) и для процесса его сублимации. Показано, что введение набора согласованных данных о прекурсоре не влияет на результаты моделирования, т. е. исходное вещество термодинамически нестабильно в равновесии с возможными компонентами газовой фазы и усложнение модели расчетов нецелесообразно. Полученные диаграммы могут быть полезны для оптимизации процессов химического газофазного осаждения материалов, содержащих фазы оксидов или карбида железа.

12 0