By this author

THERMOCHEMICAL PROCESSES AND AGING OF SUBMICRON TUNGSTEN FILM ON THE SURFACE OF GLASS MICROSPHERES

Issue number 7 from 19.12.2024

Изучены морфологические изменения поверхности и химические превращения, вызванные термическим отжигом и старением пленки вольфрама толщиной 0.05–0.12 мкм, нанесенной методом газофазного осаждения на поверхность стеклянных микросфер. Показано, что особенности термохимических процессов и изменение электрического импеданса пленки вольфрама при старении вызваны в первую очередь образованием гидрата вольфрамовой кислоты и оксидов вольфрама, что сопровождается формированием напорельефа поверхности пленки. Окисление вольфрама на поверхности натрийсиликатного стекла кислородом начинается при температуре 430°C и сопровождается образованием при температуре 530°C в основном δ-WO, γ-WO и Na(WO). При температуре 920°C на поверхности стеклосфер образуются локальные зоны тугоплавких вольфрамата и дивольфрамата натрия.

22 0