- PII
- S3034553725100106-1
- DOI
- 10.7868/S3034553725100106
- Publication type
- Article
- Status
- Published
- Authors
- Volume/ Edition
- Volume 99 / Issue number 10
- Pages
- 1528-1539
- Abstract
- The possibility of combining TM and TE modes in a microwave plasma resonator for the growth of diamond with a doped δ-layer of p-type (boron) and minimal thickness by the CVD method has been considered. A model based on the integral relations method allows estimating the parameters of the resulting plasma ball, as well as the position of the substrate bearing the diamond growth surface relative to the plasma ball, and the dependence of this position on gas pressure—particularly the preference for low-pressure operation (not accounted for in applied plasma packages) for better adherence of the plasma ball to the substrate.
- Keywords
- алмазный транзистор легированный δ-слой в алмазе химическое осаждение из газовой фазы квантово-химическое моделирование
- Date of publication
- 27.04.2025
- Year of publication
- 2025
- Number of purchasers
- 0
- Views
- 38
References
- 1. Shikata S. //Diamond & Related Materials. 2016. Т. 65. С. 168.
- 2. Koizumi S. et al. (ed.). Power electronics device applications of diamond semiconductors. Woodhead publishing, 2018. 468 p.
- 3. Алексеев Н. И., Лучинин В. В. Электроника алмаза. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ “ЛЭТИ”, 2019. 144 с.
- 4. Хмельницкий Р. А., Талипов Н. Х., Чучева Г. В. Синтетический алмаз для электроники и оптики. М.: ИКАР, 2017. 228 с.
- 5. Kabir M., Sikder U., Fallon J. // J. Neural Eng. 2019. V. 16. No. 6. P. 066002. doi.org/10.1088/1741-2552/ab2e79
- 6. Лучинин В., Колядин А., Ягудаев Ю., Ильин С. // Электроника. Наука|технология|бизнес. 2023. № 4. С. 00225. DOI: 10.22184/1992-4178.2023.225.4.70.89.
- 7. Aleksov A., Vescan A., Kohn E. // Diamond & Related Materials. 1999. Т. 8. № 2—5. С. 941.
- 8. Гуляев Ю. В., Чучева Г. В., Афанасьев М. С. и др. // Радиотехника и электроника. 2014. Т. 59. № 3. С. 304.
- 9. Lobaev M. A., Gorbachev A. M., Vikharev A. L. et al. // EPJ Web of Conferences. — EDP Sciences. 2017. Т. 149. С. 02014.
- 10. Moran D. A.J., Fox O. J.L., McLelland H., et al. // IEEE Electron Device Letters. 2011. V. 32. № 5. P. 599.
- 11. Pietzka C., Scharpf J., Fikry M. et al. // J. Appl. Phys. 2013. V. 114. P. 114503.
- 12. Vikharev A. L., Gorbachev A. M., Lobaev M. A. et al. // Phys. Status Solidi RRL. 2016. Vol. 10. No. 4. P. 324. DOI: 10.1002/pssr.201510453
- 13. Горбачев А. М., Лобаев М. А., Радищев Д. Б., и др. // Изв. вузов. Радиофизика. 2020. Т. LXIII. № 7. C. 589.
- 14. Vikharev A. L., Lobaev M. A., Gorbachev A. M., et al. // Materials Today Communications. DOI: https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2019.100816.
- 15. Lobaev M. A., Radishev D. B., S. A. Bogdanov, et al. // Phys. Status Solidi (RRL).2020. V.14. P. 2000347. DOI: 10.1002/pssr.202000347
- 16. Alekseyev N. I., Grigoriev A. D., Ivanov A. S., Oreshko I. V. // J. of Advanced Materials and Technologies. 2022. V. 7. No. 1. Р. 36. DOI: 10.17277/issn.2782-2192
- 17. Reiser Y. P. Fizika gazovogo razryada = Physics of Gas Discharge. 2nd ed. M.: Nauka, 1992. 536 p. (In Russ.)
- 18. Baksht F.G, Dyuzhev G.A, Martsinovsky A.M, et al. (eds.) Termoemissionnye preobrazovateli i nizkotemperaturnaya plazma. Thermoelectric converters and low-temperature plasma. M.: Nauka, 1973. 480 p. (In Russ.)
- 19. Алексеев Н. И., Бройко А. П., Орешко И. В. // Журн. физ. химии.2025. В печати.
- 20. Гуревич А. Г. Физика твердого тела: учеб. Пособие для студентов физ. специальностей ун-тов и техн. ун-тов. Нев. Диалект, 2004. 318 с.
- 21. Биберман Л. М., Boробьев В. С., Якубов И. Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982. С. 92.
- 22. Lombardi G., Hassouni K., Stancu G-D et al. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. No. 5. P. 053303. DOI: 10.1063/1.2034646
- 23. Silva F., Hassouni K., Bonnin X and Gicquel A. // J. of physics: condensed matter. 2009. V. 21. No. 36. P. 364202. DOI: 10.1088/0953-8984/21/36/364202
- 24. Hassouni K., Silva F. and Gicquel A. //J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. Vol. 43 P. 153001 (45 p). Topical Review. http://iopscience.iop.org/0022-3727/43/15/153001)
- 25. Савинов В. П. Физика высокочастотного емкостного разряда. М.: Физматлит. 2013. 308 с.
