- Код статьи
- S3034553725100106-1
- DOI
- 10.7868/S3034553725100106
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 99 / Номер выпуска 10
- Страницы
- 1528-1539
- Аннотация
- Рассмотрена возможность сочетания мод ТМ и ТЕ в СВЧ-плазменном резонаторе для выращивания алмаза с легированным δ-слоем p-типа (бор) и минимальной толщины методом CVD. Модель, основанная на методе интегральных соотношений, позволяет оценить параметры возникающего плазменного шара, а также положение подложки, несущей на себе ростовую поверхность алмаза, относительно плазменного шара, и зависимость этого положения от давления газа — в частности, предпочтительность режима низкого давления (не учитываемого в прикладных плазменных пакетах) для лучшего прилипания плазменного шара к подложке.
- Ключевые слова
- алмазный транзистор легированный δ-слой в алмазе химическое осаждение из газовой фазы квантово-химическое моделирование
- Дата публикации
- 27.04.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 31
Библиография
- 1. Shikata S. //Diamond & Related Materials. 2016. Т. 65. С. 168.
- 2. Koizumi S. et al. (ed.). Power electronics device applications of diamond semiconductors. Woodhead publishing, 2018. 468 p.
- 3. Алексеев Н. И., Лучинин В. В. Электроника алмаза. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ “ЛЭТИ”, 2019. 144 с.
- 4. Хмельницкий Р. А., Талипов Н. Х., Чучева Г. В. Синтетический алмаз для электроники и оптики. М.: ИКАР, 2017. 228 с.
- 5. Kabir M., Sikder U., Fallon J. // J. Neural Eng. 2019. V. 16. No. 6. P. 066002. doi.org/10.1088/1741-2552/ab2e79
- 6. Лучинин В., Колядин А., Ягудаев Ю., Ильин С. // Электроника. Наука|технология|бизнес. 2023. № 4. С. 00225. DOI: 10.22184/1992-4178.2023.225.4.70.89.
- 7. Aleksov A., Vescan A., Kohn E. // Diamond & Related Materials. 1999. Т. 8. № 2—5. С. 941.
- 8. Гуляев Ю. В., Чучева Г. В., Афанасьев М. С. и др. // Радиотехника и электроника. 2014. Т. 59. № 3. С. 304.
- 9. Lobaev M. A., Gorbachev A. M., Vikharev A. L. et al. // EPJ Web of Conferences. — EDP Sciences. 2017. Т. 149. С. 02014.
- 10. Moran D. A.J., Fox O. J.L., McLelland H., et al. // IEEE Electron Device Letters. 2011. V. 32. № 5. P. 599.
- 11. Pietzka C., Scharpf J., Fikry M. et al. // J. Appl. Phys. 2013. V. 114. P. 114503.
- 12. Vikharev A. L., Gorbachev A. M., Lobaev M. A. et al. // Phys. Status Solidi RRL. 2016. Vol. 10. No. 4. P. 324. DOI: 10.1002/pssr.201510453
- 13. Горбачев А. М., Лобаев М. А., Радищев Д. Б., и др. // Изв. вузов. Радиофизика. 2020. Т. LXIII. № 7. C. 589.
- 14. Vikharev A. L., Lobaev M. A., Gorbachev A. M., et al. // Materials Today Communications. DOI: https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2019.100816.
- 15. Lobaev M. A., Radishev D. B., S. A. Bogdanov, et al. // Phys. Status Solidi (RRL).2020. V.14. P. 2000347. DOI: 10.1002/pssr.202000347
- 16. Alekseyev N. I., Grigoriev A. D., Ivanov A. S., Oreshko I. V. // J. of Advanced Materials and Technologies. 2022. V. 7. No. 1. Р. 36. DOI: 10.17277/issn.2782-2192
- 17. Reiser Y. P. Fizika gazovogo razryada = Physics of Gas Discharge. 2nd ed. M.: Nauka, 1992. 536 p. (In Russ.)
- 18. Baksht F.G, Dyuzhev G.A, Martsinovsky A.M, et al. (eds.) Termoemissionnye preobrazovateli i nizkotemperaturnaya plazma. Thermoelectric converters and low-temperature plasma. M.: Nauka, 1973. 480 p. (In Russ.)
- 19. Алексеев Н. И., Бройко А. П., Орешко И. В. // Журн. физ. химии.2025. В печати.
- 20. Гуревич А. Г. Физика твердого тела: учеб. Пособие для студентов физ. специальностей ун-тов и техн. ун-тов. Нев. Диалект, 2004. 318 с.
- 21. Биберман Л. М., Boробьев В. С., Якубов И. Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982. С. 92.
- 22. Lombardi G., Hassouni K., Stancu G-D et al. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. No. 5. P. 053303. DOI: 10.1063/1.2034646
- 23. Silva F., Hassouni K., Bonnin X and Gicquel A. // J. of physics: condensed matter. 2009. V. 21. No. 36. P. 364202. DOI: 10.1088/0953-8984/21/36/364202
- 24. Hassouni K., Silva F. and Gicquel A. //J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. Vol. 43 P. 153001 (45 p). Topical Review. http://iopscience.iop.org/0022-3727/43/15/153001)
- 25. Савинов В. П. Физика высокочастотного емкостного разряда. М.: Физматлит. 2013. 308 с.
