Статьи автора

МЕТОД ИНТЕГРАЛЬНЫХ СООТНОШЕНИЙ ДЛЯ ОЦЕНКИ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ СВЧ-РЕЗОНАТОРА ПРИ ФОРМИРОВАНИИ δ-СЛОЯ БОРА В АЛМАЗЕ

Номер выпуска 10 от 27.04.2025

Рассмотрена возможность сочетания мод ТМ и ТЕ в СВЧ-плазменном резонаторе для выращивания алмаза с легированным δ-слоем p-типа (бор) и минимальной толщины методом CVD. Модель, основанная на методе интегральных соотношений, позволяет оценить параметры возникающего плазменного шара, а также положение подложки, несущей на себе ростовую поверхность алмаза, относительно плазменного шара, и зависимость этого положения от давления газа — в частности, предпочтительность режима низкого давления (не учитываемого в прикладных плазменных пакетах) для лучшего прилипания плазменного шара к подложке.

30 0